Lớp phủ phún xạ Magnetron là một phương pháp phủ hơi vật lý mới. Nó sử dụng các ion được tạo ra bởi nguồn ion để tăng tốc độ kết tụ trong chân không để tạo thành chùm ion năng lượng tốc độ cao, bắn phá bề mặt rắn. Các ion trao đổi động năng với các nguyên tử trên bề mặt chất rắn làm cho các nguyên tử trên bề mặt chất rắn rời khỏi chất rắn và lắng đọng trên bề mặt chất nền. Chất rắn bị bắn phá là nguyên liệu thô để chuẩn bị màng lắng đọng phún xạ, được gọi là mục tiêu phún xạ. Nói tóm lại, hệ thống súng điện tử được sử dụng để phát ra và tập trung các electron vào vật liệu tiêu thụ, khiến các nguyên tử phún xạ tuân theo nguyên lý chuyển đổi động lượng và tách ra khỏi vật liệu có động năng cao bay về phía chất nền và đọng lại thành một lớp màng. Vật liệu tiêu thụ này được gọi là vật liệu mục tiêu phún xạ. Là một công nghệ tương đối trưởng thành đã được phát triển, phún xạ Magnetron đã được ứng dụng trong nhiều lĩnh vực. So với phương pháp phủ bay hơi, nó có những ưu điểm khá rõ ràng về nhiều mặt. Nhiều loại mục tiêu phún xạ khác nhau đã được sử dụng rộng rãi trong các mạch tích hợp bán dẫn, quang điện mặt trời, phương tiện ghi, màn hình phẳng và lớp phủ bề mặt phôi.
Mục tiêu phún xạ chủ yếu bao gồm mục tiêu trống, tấm phía sau và các bộ phận khác, mục tiêu trống là vật liệu mục tiêu bị bắn phá bởi chùm ion tốc độ cao và thuộc về phần cốt lõi của mục tiêu phún xạ, trong quá trình phủ phún xạ, mục tiêu trống bị bắn trúng các ion, nguyên tử bề mặt của nó được phun ra và lắng đọng trên đế tạo thành màng mỏng điện tử; Do kim loại có độ tinh khiết cao có độ bền thấp và mục tiêu phún xạ cần được lắp đặt trong một máy đặc biệt để hoàn tất quá trình phún xạ, bên trong máy là môi trường điện áp cao, chân không cao. Do đó, các phôi mục tiêu phún xạ của kim loại có độ tinh khiết cực cao cần được nối với bảng nối đa năng thông qua các quy trình hàn khác nhau, và bảng nối đa năng đóng vai trò chủ yếu cố định mục tiêu phún xạ và cần phải có độ dẫn điện và dẫn nhiệt tốt.
Có rất nhiều loại mục tiêu phún xạ, thậm chí cùng một loại mục tiêu phún xạ cùng một loại vật liệu nhưng lại có những thông số kỹ thuật khác nhau. Theo các phương pháp phân loại khác nhau, mục tiêu phún xạ có thể được chia thành các loại khác nhau và các phân loại chính như sau:
Phân loại theo hình dạng
Mục tiêu dài
Mục tiêu vuông
Mục tiêu tròn, mục tiêu ống
Phân loại theo thành phần hóa học
Mục tiêu kim loại
Mục tiêu hợp kim
Mục tiêu hợp chất gốm
Phân loại theo lĩnh vực ứng dụng
Mục tiêu chip bán dẫn, mục tiêu hiển thị màn hình phẳng, mục tiêu pin mặt trời, mục tiêu lưu trữ thông tin, mục tiêu sửa đổi công cụ, mục tiêu thiết bị điện tử, mục tiêu trang trí màu sắc, v.v.
Hàm lượng tạp chất thấp
bề mặt mịn
Dung sai kích thước chính xác
Mật độ cao
Hàm lượng khí thấp
Cấu trúc bên trong thống nhất
Khách hàng gửi RFQ qua email
- Vật chất
- Độ tinh khiết
- Kích thước
- Định lượng
- Đang vẽ
Trả lời trong vòng 24 giờ qua email
- Giá
- Giá vận chuyển
- Thời gian dẫn
Xác nhận các chi tiết
- Điều khoản thanh toán
- Điều kiện thương mại
- Chi tiết đóng gói
- Thời gian giao hàng
Xác nhận một trong các tài liệu
- Đơn đặt hàng
- Hóa đơn Proforma
- Báo giá chính thức
Điều khoản thanh toán
- T / T
- PayPal
- AliPay
- Thẻ tín dụng
Công bố kế hoạch sản xuất
Xác nhận các chi tiết
Hóa đơn thương mại
Phiếu đóng gói
Hình ảnh đóng gói
Giấy chứng nhận chất lượng
Cách vận chuyển
Bằng chuyển phát nhanh: DHL, FedEx, TNT, UPS
Bằng đường hàng không
Bằng đường biển
Khách hàng làm thủ tục hải quan và nhận gói hàng
Mong chờ sự hợp tác tiếp theo