Lớp phủ bay hơi chân không, được gọi là bay hơi, đề cập đến quá trình bay hơi và làm bay hơi vật liệu phủ (hoặc vật liệu màng) bằng cách sử dụng một phương pháp gia nhiệt và bay hơi nhất định trong điều kiện chân không, và các hạt bay lên bề mặt chất nền để ngưng tụ và tạo thành một bộ phim. Bay hơi là công nghệ lắng đọng hơi được sử dụng rộng rãi và sớm hơn, có ưu điểm là phương pháp tạo màng đơn giản, độ tinh khiết và độ nén của màng cao cũng như cấu trúc và hiệu suất màng độc đáo. Các vật liệu được sử dụng trong quá trình bay hơi chân không được gọi là vật liệu bay hơi.
Vật liệu lắng đọng bị bay hơi hoặc thăng hoa thành các hạt khí → các hạt khí được vận chuyển nhanh chóng từ nguồn bay hơi đến bề mặt chất nền → các hạt khí bám vào bề mặt chất nền để tạo mầm và phát triển thành màng rắn → tái tạo nguyên tử màng hoặc liên kết hóa học xảy ra.
Đặt chất nền vào buồng chân không, làm nóng vật liệu màng bằng điện trở, chùm tia điện tử, tia laser, v.v. để làm bay hơi hoặc thăng hoa vật liệu màng và khí hóa thành các hạt (nguyên tử, phân tử hoặc nhóm nguyên tử) với năng lượng nhất định ( 0.1-0.3eV).
Các hạt khí được vận chuyển nhanh chóng đến bề mặt theo chuyển động tuyến tính mà không va chạm. Một phần hạt chạm tới bề mặt chất nền sẽ bị phản xạ, phần còn lại bị hấp phụ trên chất nền và khuếch tán trên bề mặt. Va chạm hai chiều xảy ra giữa các nguyên tử lắng đọng để tạo thành các cụm. Nó có thể tồn tại trên bề mặt một thời gian ngắn trước khi bay hơi.
Các cụm hạt liên tục va chạm với các hạt khuếch tán hoặc hấp thụ các hạt đơn lẻ hoặc phát ra các hạt đơn lẻ.
Quá trình này được lặp lại. Khi số lượng hạt tổng hợp vượt quá một giá trị tới hạn nhất định, nó trở thành hạt nhân ổn định, sau đó tiếp tục hấp thụ và khuếch tán các hạt để phát triển dần dần. Cuối cùng, một màng liên tục được hình thành thông qua sự tiếp xúc và hợp nhất của các hạt nhân ổn định liền kề.
Nguyên lý bay hơi điện trở: Vật liệu có nhiệt độ bay hơi 1000-2000 ° C có thể được làm nóng bằng điện trở làm nguồn bay hơi. Lò sưởi tạo ra nhiệt sau khi điện trở được cấp năng lượng và nhiệt sinh ra làm cho các phân tử hoặc nguyên tử của vật liệu bay hơi có đủ động năng để bay hơi.
1. Nguồn bay hơi thường ở dạng sợi (0.05-0.13cm), dễ vận hành, vật tư tiêu hao rẻ và dễ thay thế.
2. Vật liệu bay hơi phải làm ướt dây đốt và được hỗ trợ bởi sức căng bề mặt. Chỉ có kim loại hoặc hợp kim mới có thể bay hơi và dây đốt nóng rất dễ bị giòn.
3. Các vật liệu nguồn bay hơi thường được sử dụng là: W, Mo, Ta, oxit kim loại chịu nhiệt độ cao, nồi nấu kim loại bằng gốm hoặc than chì.
Nhược điểm của sự bay hơi tiền thuê điện: có thể xảy ra phản ứng giữa vật liệu đỡ và thiết bị bay hơi; nhiệt độ làm việc chung là 1500 ~ 1900oC, khó đạt được nhiệt độ bay hơi cao hơn nên vật liệu bay hơi bị hạn chế; tốc độ bay hơi thấp; tốc độ gia nhiệt không cao. Nếu vật liệu bay hơi trong quá trình bay hơi là hợp kim hoặc hợp chất, nó có thể bị phân hủy hoặc có tốc độ bay hơi khác, khiến thành phần của màng bị lệch khỏi thành phần của vật liệu bay hơi. Ở nhiệt độ cao, hợp kim tantalum và vàng, nhôm, sắt, niken, coban, v.v. tạo thành hợp kim với vonfram, molypden, tantalum, v.v., và vonfram, molypden phản ứng với nước hoặc oxy để tạo thành khí oxit dễ bay hơi.
Chùm tia điện tử được tăng tốc sau khi đi qua điện trường 5-10KV, sau đó tập trung vào bề mặt vật liệu cần bay hơi và năng lượng được truyền đến vật liệu bị bay hơi để nóng chảy và bay hơi.
1. Có thể thực hiện sự bay hơi của các chất chịu lửa và có thể thực hiện sự bay hơi nhanh chóng với mật độ công suất lớn để ngăn chặn sự phân tách hợp kim.
2. Có thể đặt nhiều nồi nấu kim loại cùng một lúc và nhiều loại chất khác nhau có thể được bay hơi cùng lúc hoặc riêng biệt;
3. Không ô nhiễm. Hầu hết các hệ thống bay hơi chùm tia điện tử đều sử dụng chùm tia điện tử tập trung từ tính hoặc uốn cong từ tính. Vật liệu bay hơi được đặt trong nồi nấu kim loại làm mát bằng nước, và vật liệu bay hơi tiếp xúc với nồi nấu kim loại (nồi nấu làm mát bằng nước) vẫn ở dạng rắn và bay hơi trên bề mặt vật liệu.
Ức chế hiệu quả phản ứng giữa nồi nấu kim loại và vật liệu bay hơi, khả năng phản ứng giữa vật liệu bay hơi và nồi nấu kim loại là rất nhỏ, thích hợp cho việc chế tạo màng mỏng có độ tinh khiết cao và có thể chế tạo vật liệu màng mỏng trong lĩnh vực quang học , điện tử và quang điện tử như Mo, Ta, Nb, MgF2, Ga2Te3, TiO2, Al2O3, SnO2, Si, v.v.; Động năng phân tử hóa hơi lớn hơn và có thể thu được màng cứng hơn và đặc hơn so với gia nhiệt bằng điện trở.
Nhược điểm của quá trình bay hơi chùm tia điện tử: Nó có thể làm ion hóa khí bay hơi và khí dư, đôi khi ảnh hưởng đến chất lượng của lớp màng; cấu trúc của thiết bị bay hơi chùm tia điện tử phức tạp và đắt tiền; tia X được tạo ra có tác hại nhất định đối với cơ thể con người.
Nguyên lý bay hơi bằng laser: Tia laser được sử dụng làm nguồn nhiệt và chùm tia laser năng lượng cao đi qua cửa sổ của buồng chân không để làm nóng vật liệu bay hơi đến điểm thăng hoa, biến nó thành khí và lắng đọng thành phim ảnh.
1. sử dụng hệ thống sưởi không tiếp xúc, giảm ô nhiễm, đơn giản hóa buồng chân không, thích hợp để chuẩn bị màng nguyên chất trong môi trường siêu chân không;
2. Nguồn nhiệt sạch, không gây ô nhiễm từ thân máy sưởi;
3. Việc tập trung có thể thu được công suất cao và có thể lắng đọng các vật liệu có điểm nóng chảy cao như gốm sứ và vật liệu có thành phần phức tạp (bay hơi tức thời);
4. Chùm tia tập trung, thiết bị laser có thể được đặt ở khoảng cách xa và một số màng vật liệu đặc biệt (như vật liệu có tính phóng xạ cao) có thể được lắng đọng an toàn;
5. Tốc độ bay hơi cao, màng có độ bám dính cao.
Nhược điểm của bay hơi laser: khó kiểm soát độ dày màng; nó có thể gây ra sự phân hủy quá nhiệt và phún xạ các hợp chất; chi phí của thiết bị bay hơi laser tương đối cao.
Kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt: Hệ thống và thiết bị kiểm tra hoàn chỉnh.
Hạng mục hoàn chỉnh: Bao gồm tất cả các yếu tố kim loại.
Hình dạng khác nhau: Hạt, Bột, Mảnh, Thanh, Tấm và Nhẫn, v.v.
Độ tinh khiết khác nhau: Từ 2N7-6N5, Độ tinh khiết 99.7% -99.9999%, thậm chí cao hơn.
Khách hàng gửi RFQ qua email
- Vật chất
- Độ tinh khiết
- Kích thước
- Định lượng
- Đang vẽ
Trả lời trong vòng 24 giờ qua email
- Giá
- Giá vận chuyển
- Thời gian dẫn
Xác nhận các chi tiết
- Điều khoản thanh toán
- Điều kiện thương mại
- Chi tiết đóng gói
- Thời gian giao hàng
Xác nhận một trong các tài liệu
- Đơn đặt hàng
- Hóa đơn Proforma
- Báo giá chính thức
Điều khoản thanh toán
- T / T
- PayPal
- AliPay
- Thẻ tín dụng
Công bố kế hoạch sản xuất
Xác nhận các chi tiết
Hóa đơn thương mại
Phiếu đóng gói
Hình ảnh đóng gói
Giấy chứng nhận chất lượng
Cách vận chuyển
Bằng chuyển phát nhanh: DHL, FedEx, TNT, UPS
Bằng đường hàng không
Bằng đường biển
Khách hàng làm thủ tục hải quan và nhận gói hàng
Mong chờ sự hợp tác tiếp theo
EN 
AR
BG
HR
CS
DA
NL
FI
FR
DE
HI
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
LT
SR
SK
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
MS
GA
CY
BE
KA
BN
BS
MN
NE
MY
TG
UZ
LB